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丙二醇甲醚醋酸酯（PGMEA)，也叫丙二醇單甲醚乙酸酯，分子式為C6H12O3，無色吸濕液體，有特殊氣味，是一種具有多官能團(tuán)的非公害溶劑。主要用于油墨、油漆、墨水、紡織染料、紡織油劑的溶劑，也可用于液晶顯示器生產(chǎn)中的清洗劑。易燃，高于42°C時(shí)可能形成爆炸性蒸汽/空氣混合物。PGMEA溶劑是一種典型的用于溶解光敏聚合物的溶劑(major solvent)，其含有的任何金屬離子都會(huì)潛在的影響光刻制程，從而擴(kuò)散到功能性元器件中，降低其性能，良率或者使用壽命。
PGMEA (丙二醇甲醚醋酸酯)溶劑作為性能優(yōu)良的低毒高級(jí)工業(yè)溶劑，對(duì)極性和非極性的物質(zhì)均有很強(qiáng)的溶解能力，在電子行業(yè)，尤其是在LCD面板的制作過程中，需要用到PGMEA溶劑作為清洗劑，用于光刻膠噴射噴嘴及涂膠容器等的清洗，產(chǎn)生的廢溶劑中通常含有重金屬、廢元器件、顆粒雜質(zhì)等固體雜質(zhì)及高沸膠狀物和油污等雜質(zhì)，但PGMEA廢液中的有用成分多，且溶劑價(jià)格貴，從經(jīng)濟(jì)和環(huán)保方面考慮，將有用成分再生具有巨大的經(jīng)濟(jì)價(jià)值和社會(huì)價(jià)值。
本發(fā)明公開了一種從PGMEA廢液中提純PGMEA的方法，PGMEA廢液主要含有PGME（丙二醇甲醚）、酮類化合物、苯類化合物、乙氧基酯類化合物、甲氧基酯類化合物、水、固體電阻、電子元器件等雜質(zhì)，廢液成分及含量變化范圍廣，本發(fā)明針對(duì)電子行業(yè)產(chǎn)生的PGMEA廢液，對(duì)收集來的廢溶劑初步過濾后，進(jìn)入原料沉降釜去除可沉降的固體雜質(zhì)，沉降后上清液進(jìn)入帶有真空泵的蒸餾塔，去除難以處理的低沸點(diǎn)及高沸點(diǎn)雜質(zhì)，蒸餾塔產(chǎn)生的目標(biāo)產(chǎn)品粗產(chǎn)品進(jìn)入精餾塔進(jìn)一步精餾，得到純度大于95%的目標(biāo)產(chǎn)品，最高純度可達(dá)到99%。處理設(shè)備主要包括過濾器、沉降釜、蒸餾塔、精餾塔。